日本 JIMA 檢查機(jī)器 測(cè)試卡 RT RC-04 超微加工技術(shù)
2025-02-03 09:07:57
admin
微型聚焦X射線用測(cè)試卡
是確認(rèn)X射線裝置的分辨率的測(cè)試卡 日本檢查機(jī)器工業(yè)會(huì)的X射線用分辨率微圖表試驗(yàn)片信息 RT RC-04 采用最新的半導(dǎo)體制造技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了23種納米級(jí)（0.1～10μm）的Line&Space微圖。 RT RC-05B 通過(guò)最新的超細(xì)加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了16種微米級(jí)（3～50μm）的Line&Space微圖。 RT CT-01B 根據(jù)最新的超微細(xì)加工技術(shù) 規(guī)格 JIMA RT CT-01B 通過(guò)最新的超微加工技術(shù) 這是微光一照X射線CT裝置的分辨率評(píng)價(jià)。
，采用了金（Au）的吸收體的微米級(jí)的微焦點(diǎn)X射線CT裝置的分辨率評(píng)價(jià)和調(diào)整等使用的分辨率微圖表。
型式 RT RC-02B RT RC-04 RT RC-05B RT CT-01B L/S幅 0.4～15μm 0.1～10μm 3～50μm 3～7μm 
