日本 ULVAC 愛發(fā)科抽油泵PST系列 PST-030CU/PST-030AU/PST-050CU/PST-050AU 支持超高真空

2024-07-22 14:31:22 admin

抽油泵

PST系列

PST

PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXII

PST-200AXII

PST-400CXII

PST-400AXII

是利用濺射的活性鈦的吸氣作用

，強(qiáng)化了在超高真空區(qū)域的排氣特性的泵

。

通過謀求新型元件和磁場(chǎng)的最優(yōu)化

，提高了在極·超高真空領(lǐng)域的排氣特性。

特性

支持超高真空

。安裝ISO規(guī)格的測(cè)試圓頂，證實(shí)10-9Pa臺(tái)的到達(dá)壓力

。

稀有氣體排氣強(qiáng)化型（AU型）相對(duì)于氬氣實(shí)現(xiàn)2倍的排氣性能

。（本公司比）

在超高真空區(qū)域?qū)崿F(xiàn)大的排氣速度。

可以在短時(shí)間內(nèi)排氣到超高真空區(qū)域

。

超高真空區(qū)域的優(yōu)良啟動(dòng)特性

。（放電持續(xù)到超高真空區(qū)域）

用途

加速器

電子顯微鏡

電子束描繪裝置

不喜歡振動(dòng)的分析裝置

極、超高真空環(huán)境的利用等

規(guī)格

型號(hào)		PST-030CU	PST-030AU	PST-050CU	PST-050AU	PST-100CX	PST-100AX
排出目標(biāo)氣體		活性氣體	稀有氣體	活性氣體	稀有氣體	活性氣體	稀有氣體
再生抽速*		0.03m ³ / s N₂_測(cè)量	0.013m ³ /s Ar測(cè)量	0.045m ³ / s _{N₂測(cè)量}	0.016m ³ /s Ar測(cè)量	0.10m ³ / s _{N₂測(cè)量}	0.05m ³ /s Ar測(cè)量
極限壓力		10 ^-9帕
運(yùn)營(yíng)壓力	推薦值	<8.0×10 ^-3 Pa				<5.0 × ^10-3Pa
內(nèi)部容積		0.67 ^×^10-3立方米		1.3x10 ^-3^立方米		3.3x10 ^-3^立方米
泵元件數(shù)量		CU型電池×1	AU型電池 x 1	CU型電池×1	AU型電池 x 1	CX型電池×1	AX型電池×1
連接法蘭型號(hào)		UFC070		UFC114		UFC152
施加電壓		DC+7.5kV
加熱器		無(wú)設(shè)置		單相AC200V ，300W		單相AC200V ，320W
標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度		250℃
質(zhì)量		9.5公斤		12公斤		37公斤
外形尺寸寬×深×高		103×183×187毫米		153×204×241毫米		155×336×340毫米
使用環(huán)境	溫度范圍	5~40℃
	濕度范圍	85%以下（無(wú)凝露）
泵固定螺栓孔尺寸		4 個(gè)位置 - M5 深度 10mm				4 個(gè)位置 - M8 深度 6mm
推薦控制器		GST-07L-B

*使用GST-07L控制器時(shí)

型號(hào)		PST-110AU	PST-200CXII	PST-200AXII	PST-400CXII	PST-400AXII
排出目標(biāo)氣體		活性氣體	活性氣體	稀有氣體	活性氣體	稀有氣體
再生抽速*		0.11m ³ / s _{N₂測(cè)量}	0.2m ³ / s _{N₂測(cè)量}	0.02m ³ /s Ar測(cè)量	0.36m ³ / s _{N₂測(cè)量}	0.19m ³ /s Ar測(cè)量
極限壓力		10-9帕	10-10帕
運(yùn)營(yíng)壓力	推薦值	<4.5x10 ^-3帕	<3.8x10 ^-3帕		<3.0x10 ^-3帕
內(nèi)部容積		6.5x10 ^-3^立方米	11x10-3^立方米		14x10-3^立方米
泵元件數(shù)量		AU型電池 x2	CX型電池×2	AX 型電池 x 2	CX型電池×4種	AX型單元x 4公式
連接法蘭型號(hào)		UFC152	UFC203
施加電壓		DC+7.5kV
加熱加熱器		無(wú)設(shè)置	單相AC200V，600W		單相AC200V ，800W
標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度		250℃
質(zhì)量		36.5公斤	65公斤		124公斤
外形尺寸寬×深×高		171×387×293毫米	296×361×376毫米		296×544×376毫米
使用環(huán)境	溫度范圍	5~40℃
	濕度范圍	85%以下（無(wú)凝露）
泵固定螺栓孔尺寸		4 個(gè)位置 - M6 深度 15mm	4 個(gè)位置 - M8 深度 15mm		6 個(gè)位置 - M8 深度 15mm
推薦控制器		GST-07L-B

*使用GST-07L控制器時(shí)

PST系列控制器

型號(hào)			GST-07L-B
輸入規(guī)格	輸入電壓/電流		AC100~115V±10% ?50/60Hz~3.0A
			AC200~240V±10% ?50/60Hz~1.5A
	漏電流		6mA以下
	輸入電壓切換方式		手動(dòng)（通過電源內(nèi)部的撥碼開關(guān)操作）
輸出規(guī)格	額定電壓		DC+7.5kV（約1.0~7.5kV體積可變）
	額定電流		DC30mA以下
	輸出極性		正極性
	輸出特性		恒壓特性
顯示方式			數(shù)字顯示（7段LED顯示）
顯示內(nèi)容	輸出電流顯示范圍		1μA~30mA（mA 、μA 2量程自動(dòng)切換）
	輸出電壓顯示范圍		DC0.0～7.5kV
	壓力顯示	Pa顯示	1×10 ^-8 ~1×10 ^-2
		mbar顯示	1×10 ^-10 ~1×10 ^-4
壓力設(shè)定點(diǎn)			2分
保護(hù)功能			配備錯(cuò)誤顯示/各種保護(hù)功能
			顯示屏亮起時(shí)，高壓 (HV) 輸出被切斷（Err.0 至 8）
斷電后恢復(fù)			當(dāng)HV-ON開關(guān)處于ON狀態(tài)時(shí) ，斷電后可自動(dòng)恢復(fù) 。
外部控制功能			配備各種輸入功能（帶REMOTE連接器）和RS232C通信控制
MONITOR端子輸出信號(hào)			輸出與面板 7 段顯示成比例的信號(hào)，每個(gè)范圍 DC0 至 10VF.S 。
			允許負(fù)載阻抗100kΩ以上
遠(yuǎn)程/本地			可通過前面板開關(guān)切換
冷卻方式			強(qiáng)制風(fēng)冷方式
質(zhì)量		主體	4.0公斤
外形尺寸		寬×高×深	200 x 99 x 370mm（不含機(jī)架安裝支架）
使用環(huán)境		溫度范圍	0～40℃
		濕度范圍	85%以下（無(wú)凝露）
兼容標(biāo)準(zhǔn)			CE 、cTUVus

標(biāo)簽: ULVAC 愛發(fā)科抽油泵PST系列 PST-030CU/PST-030AU/PST-050CU/PST-050AU

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新聞動(dòng)態(tài)

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規(guī)格

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