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日本 ULVAC 愛發(fā)科真空泵LR系列 LR60/ LR90/LR180 低溫范圍內(nèi)均勻加熱

2024-07-19 11:57:25 admin

多級羅茨型干真空泵

LR系列

通過在低溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體，該泵非常適合 PVD 工藝以及裝載和卸載室的排氣

，其中縮短排氣時間對于提高吞吐量尤為重要。

特征

低溫范圍內(nèi)均勻加熱（LR系列）

除了PVD工藝外，它特別適用于排氣裝卸室，縮短排氣時間對于提高吞吐量非常重要

。

配備氦氣

密閉電機，密封結(jié)構(gòu)

，安全性極高

。

瞬時停電對策

我們采取了防止1000毫秒內(nèi)瞬時停電的措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性

主要部件采用特殊的表面處理

，表面硬度高

，耐腐蝕性優(yōu)異。當(dāng)腐蝕性氣體排出時

，減少泵內(nèi)部的腐蝕

。

通訊功能

可以讀取有關(guān)泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件并與計算機通信

，可以進行集中監(jiān)控

。

目的

薄膜沉積設(shè)備（濺射設(shè)備/蒸發(fā)設(shè)備等）

縮短裝卸間排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵和機械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

模型			LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大抽速	50赫茲	立方米^/小時（升/分鐘）	62 (1030)	112 (1860)	183 (3100)	440 (7333)
	60赫茲	立方米^/小時（升/分鐘）	80 (1333)	126 (2100)	237 (3950)	440 (7333)
極限壓力			5.0帕
最大入口壓力（吸入壓力）			氣壓
最大排氣口壓力（排出壓力）			1Pa～大氣壓
進氣口（CE規(guī)格）			VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口			KF40			VG50
大量的		公斤	180	245	335	415
電力*1	三相	交流電壓（赫茲）	200 (50/60), 220 (60)			180~240 / 380~440 (50/60)
當(dāng)前值	穩(wěn)定狀態(tài)	A	6.9（200V 時）	11.2（200V 時）	18.9（200V 時）	20.8（200V 時）
	最大值	A	7.3（200V 時）	11.8（200V 時）	20.6（200V 時）	48.5（200V 時）
冷卻水暫壓		兆帕	0.1~0.3			0.2~0.5
冷卻水進出水壓差		兆帕	>0.1			>0.2
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0			>4.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
氮氣吹掃	軸	可持續(xù)發(fā)展管理	五
	加斯巴拉	可持續(xù)發(fā)展管理	0~45			沒有	0~45

*1 請在訂購時注明

。

模型			LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T(TT)	LR3601-R	LR3601-TR(TTR)
使用泵		數(shù)據(jù)恢復(fù)計劃	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
		MPB	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C(-T)	PRC-036D	PRC-036D(DT)
最大抽速	50赫茲	立方米^/小時（升/分鐘）	359 (5,980)	653 (10,900)	1,012 (16,900)	1,701 (28,350)	3,200 (53,333)
	60赫茲	立方米^/小時（升/分鐘）	365 (6,080)	701 (11,700)	1,051M (17,500)	1,784 (29,700)	3,200 (53,333)
極限壓力			0.67帕
最大入口壓力（吸入壓力）			氣壓
最大排氣口壓力（排出壓力）			1Pa～大氣壓
進氣口（CE規(guī)格）			VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排氣口			KF40				KF50
MBP表面處理			○ *2	○ *2	○ *2	○ *2	×	時間：× 時間：×	×	TR:× TTR:〇
大量的		公斤	275	370	420	545	660	720	660	720
電力*3	三相	交流電壓（赫茲）	200 (50/60), 220 (60)				180~240 / 380~440 (50/60)
當(dāng)前值	穩(wěn)定狀態(tài)	A	7.0 （200V 時）	12.3 （200V 時）	13.7 （200V 時）	21.4 （200V 時）	31.0（200V 時） 20.5（400V 時）		35.4（200V 時） 20.5（400V 時）
	最大值	A	9.6 （200V 時）	19.0 （200V 時）	24.2 （200V 時）	39.8 （200V 時）	58.4（200V 時） 40.5（400V 時）		82.0（200V 時） 40.5（400V 時）
冷卻水暫壓		兆帕	0.1~0.3				0.2~0.5
冷卻水進出水壓差		兆帕	>0.1		0.1~0.3		0.2~0.5
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0				>4.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
氮氣吹掃	軸	可持續(xù)發(fā)展管理	五
	加斯巴拉	可持續(xù)發(fā)展管理	0~45				無 *4	0~45	無 *4	0~45

*2 LR300、LR600

、LR1200

、LR1800 MBP 可選擇有或無表面處理。
*3 請在訂購時注明

。
*4 我們還可以根據(jù)應(yīng)用引用允許使用氣體玫瑰花的規(guī)格

。

配飾

■消音器

模型

材料

表面
處理

大量的

連接法蘭

LR300

LR600

LR1200

LR1800

LR3601

LR60

LR90

LR180

LR421

LR421
-T

RS-01 +
套件 A

不銹鋼
304

GBB
處理

4.1公斤

KF40

○

RS-01 +
套件 B

KF40

○

RS-02 +
套件 A

8.3公斤

KF40

○

RS-02 +
套件 B

KF40

○

RS-03 +
套件 A

拋光板

12.5
公斤

KF50

○

RS-03 +
套件 B

○

LR系列型號：

LR60

LR90

LR180

LR421

LR421-T

標(biāo)簽: ULVAC 愛發(fā)科真空泵LR系列 LR60/ LR90/LR180

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