日本 ULVAC 愛發(fā)科增壓泵PRC系列 PRC-003A/PRC-006A/PRC-012A/PRC-018A 采用封閉式電機(jī)
，軸封不會(huì)漏油

2024-07-19 11:39:36 admin

機(jī)械增壓泵

PRC系列

PRC

PRC系列是機(jī)械增壓泵

，主要設(shè)計(jì)用于對(duì)清潔度要求特別高的半導(dǎo)體和液晶制造工藝

。

采用封閉式電機(jī)

，軸封不會(huì)漏油

。也可選擇大氣壓驅(qū)動(dòng)型。

特征

由于無(wú)油

殼體腔內(nèi)沒有潤(rùn)滑油

，因此即使面對(duì)水蒸氣

、溶劑等蒸汽也能發(fā)揮穩(wěn)定的性能。

采用封閉式電機(jī)

通過(guò)采用封閉式電機(jī)

，我們能夠消除空氣/真空機(jī)械密封

。可以在清潔的環(huán)境中使用

，不用擔(dān)心漏油

。

表面處理，耐腐蝕性能優(yōu)異

主要部件均經(jīng)過(guò)陽(yáng)極氧化處理

，表面硬度高

，耐腐蝕性能優(yōu)異，可防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕

。也可以選擇不進(jìn)行表面處理

。

由于可以與大氣壓驅(qū)動(dòng)（變頻選項(xiàng)：變頻）低真空泵同時(shí)啟動(dòng)，可有效縮短抽氣時(shí)間

，因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比

，可縮短抽氣時(shí)間。

除了標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)和特殊應(yīng)用選項(xiàng)外

，我們還提供特殊應(yīng)用型號(hào)

。

使用示例	類型（種類）	適用機(jī)型	表面處理	油
通過(guò)空氣或惰性氣體排氣表面處理提高抗異物能力	標(biāo)準(zhǔn)	PRC-003A、PRC-006A 、 PRC-012A 、PRC-018A	○ ^*1	R-42 礦物油
當(dāng)您想抑制空氣或惰性氣體排氣水分吸附對(duì)極限壓力的影響時(shí)	X	PRC-003A-X、PRC-006A-X 、 PRC-012A-X 、PRC-018A-X	?	R-42 礦物油
表面處理可防止油因腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w和氧化性氣體而劣化，從而提高抗異物強(qiáng)度	F	PRC-003A-F 、PRC-006A-F、 PRC-012A-F 、PRC-018A-F	○	J25F ^*2 氟油

*1 如果進(jìn)行表面處理

，則排氣時(shí)間可能會(huì)受到因吸濕而釋放的氣體的影響。
*2 組裝檢查將使用氟油進(jìn)行，但不包括在內(nèi)

。如有需要

，將另行安排。

目的

氣相沉積
、濺射
、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥
、真空脫氣
分析設(shè)備、檢漏設(shè)備
氣體置換
、填充
、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他各種真空裝置

規(guī)格

型號(hào)*1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A
最大抽速		50赫茲	280 立方米^/小時(shí) （4670 升/分鐘）	500立方米^/小時(shí) （8330升/分鐘）	1000立方米^/小時(shí) （16700升/分鐘）	1500立方米^/小時(shí) （25000升/分鐘）
		60赫茲	330立方米^/小時(shí) （5500升/分鐘）	600立方米^/小時(shí) （10000升/分鐘）	1200立方米^/小時(shí) （20000升/分鐘）	1800立方米^/小時(shí) （30000升/分鐘）
最大吸入壓力		50赫茲	1.2 × ^103帕	1.3 × ^103帕		1.2 × ^103帕
		60赫茲	9.3 × ^102帕	1.1× ¹⁰³帕		9.3 × ^102帕
最大允許壓差		50赫茲	4.0 × ^103Pa	7.3 × ^103帕		4.3× ¹⁰³帕
		60赫茲	3.3 × ^103帕	6.0 × ^103Pa		3.2 × ^103帕
極限壓力*2			4.0 × ^10-1Pa		6.7 × ^10-1Pa
可驅(qū)動(dòng)壓力			~1.0 x 10 ⁵ Pa（大氣壓驅(qū)動(dòng)型）
電機(jī)*3	格式		屏蔽式三相異步電動(dòng)機(jī)
	高效率等級(jí)		-
	輸出		0.75千瓦（2極）	2.2千瓦（2極）	3.7千瓦（2極）	5.5千瓦（2極）
	電壓（200V級(jí)電機(jī)）	50赫茲	200V
		60赫茲	200/220V
使用油*4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7升	1.5升	1.9升
冷卻方式			水冷
冷卻水	一次壓力		0.3兆帕
	入口/出口壓差		0.01MPa以上
	冷卻水量		2升/分鐘		3升/分鐘
	冷卻水溫度*5		5～30℃
進(jìn)氣直徑 JIS-B-2290			相當(dāng)于VG80		相當(dāng)于VG100	相當(dāng)于VG150
排氣直徑 JIS-B-2290			相當(dāng)于VF80			相當(dāng)于VF100
外形尺寸W×D×H *6			296×575×260毫米	356×619×320毫米	406×759×340毫米	406×989×340毫米
大量的			51公斤	86公斤	118公斤	150公斤
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵			VD60C	VD90C	VS2401	VS2401
標(biāo)準(zhǔn)配件			1 本使用說(shuō)明書、1 單位油

注）本規(guī)格表采用SI單位制

。非 SI 單位的換算如下

。
4.0×10 ^-1 帕 = 3.0× 10 ^-3托

*1 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品經(jīng)過(guò)表面處理（陽(yáng)極氧化涂層）。您也可以選擇不進(jìn)行表面處理

。
*2 用皮拉尼真空計(jì)測(cè)量（輔助泵和使用的油是標(biāo)準(zhǔn)的）。
*3 不兼容隔爆和防爆結(jié)構(gòu)

。
*4 可選擇氟油（J25F）

。
*5 請(qǐng)?jiān)跓o(wú)結(jié)露的環(huán)境下使用。
*6 對(duì)于其他尺寸

，請(qǐng)檢查我們網(wǎng)站上發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)

。

PRC系列型號(hào)：

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

PRC-018A

標(biāo)簽: ULVAC 愛發(fā)科增壓泵PRC系列 PRC-003A/PRC-006A/PRC-012A/PRC-018A

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