日本進(jìn)口 ULVAC 愛(ài)發(fā)科真空泵UR UR421-T/UR600 /UR1200 可以達(dá)到比HR系列更高的溫度

2024-07-19 10:31:37 admin

多級(jí)羅茨型干真空泵

HR/UR系列

通過(guò)在高溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體

，

泵能夠?qū)VD、蝕刻等過(guò)程中產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出

。

特征

可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD

、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。

UR系列可以達(dá)到比HR系列更高的溫度

。

配備氦氣密閉電機(jī)，密封結(jié)構(gòu)

，安全性極高

。

瞬時(shí)停電對(duì)策：

實(shí)施1000msec以內(nèi)的瞬時(shí)停電對(duì)策。

優(yōu)異的耐腐蝕性

主要部件采用特殊表面處理

，表面硬度高

，耐腐蝕性優(yōu)異。當(dāng)腐蝕性氣體排出時(shí)

，減少泵內(nèi)部的腐蝕

。

通訊功能：

可讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/報(bào)警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過(guò)使用專用軟件并與計(jì)算機(jī)通信

，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

目的

化學(xué)氣相沉積設(shè)備

蝕刻設(shè)備

灰化裝置

酒精性肝病 (ALD)

、酒精性肝炎 (ALH) 等

規(guī)格

模型		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	數(shù)據(jù)恢復(fù)計(jì)劃	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	MBP	-	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大抽速		410 立方米^/小時(shí) （6833 升/分鐘）	653 立方米^/小時(shí) （10883 升/分鐘）	1012 立方米^/小時(shí) （16867 升/分鐘）	1701 立方米^/小時(shí) （28350 升/分鐘）	2700立方米^/小時(shí) （45000升/分鐘）
極限壓力		5.0帕
最大入口壓力（吸入壓力）		大氣壓^*1
最大排氣口壓力（排出壓力）		1~大氣壓Pa
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）		VG100	VG80(NW80)	VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
大量的		415公斤	370公斤	403公斤	553公斤	720公斤
電力	三相	180-240VAC/ 380-440VAC （50/60Hz）	200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz)			180-240VAC/ 380-440VAC （50/60Hz）
當(dāng)前值	穩(wěn)定狀態(tài)	23A（200V 時(shí)）	16.4A（200V 時(shí)）	18.9A（200V 時(shí)）	29.2A（200V 時(shí)） 20.5A（400V 時(shí)）	39.8 A（200V 時(shí)） 20.5 A（400V 時(shí)）
	最大值	52.5A（200V 時(shí)）	17.3A（200V 時(shí)）	22.4A（200V 時(shí)）	34.9 A（200V 時(shí)） 40.5 A（400V 時(shí)）	68.3 A（200V 時(shí)） 40.5 A（400V 時(shí)）
冷卻水暫壓		0.2~0.5兆帕	0.1~0.3兆帕			0.2~0.5兆帕
冷卻水進(jìn)出水壓差		>0.2兆帕	>0.1兆帕	>0.1兆帕	>0.1兆帕	>0.2兆帕
冷卻水流量		>5.0升/分鐘
吹掃氣體	一次壓力	0.1~0.5兆帕
	二次壓力	0.05~0.1兆帕
氮?dú)?/span>吹掃	軸	5 可持續(xù)發(fā)展管理
	加斯巴拉	0~195 SLM	0~45SLM		0~195 SLM	0~195 SLM

*1 請(qǐng)勿在吸入壓力為 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運(yùn)行 UR600

、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT

。
*對(duì)于規(guī)格表中未列出的UR系列的訂單

，請(qǐng)單獨(dú)檢查。

■駕駛模式

駕駛方式		1		2		3
氮?dú)?/span>_流量	可持續(xù)發(fā)展管理	0		五		5~50 ^*1

訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)注明驅(qū)動(dòng)方式

。（UR系列的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定：3）
*1 UR421-T

、UR3601-TT的N2流量為5～200SLM。

UR系列型號(hào)：

UR421-T

UR600

UR1200

UR1800

UR3601-TT

標(biāo)簽: ULVAC 愛(ài)發(fā)科真空泵UR UR421-T/UR600 /UR1200

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